在活性炭吸附法净化含有有机化合物废气时候，其流程通常包括如下部分。

1、预处理部分 ，预先出去进气中的固体颗粒物及液滴，并降低进气温度。（如有必要）

2、吸附部分：通常采用2-3个固定床吸附器并联或者串联操作

3、吸附剂再生部分。*常用的是水蒸气脱附法使活性炭再生。

4、溶剂回收部分，不溶于水的溶剂易于回收。水溶性溶剂需采用蒸馏法回收、对处理量小的水溶剂也可与水一起掺入煤炭中送锅炉烧掉。

有机废气经过冷却过降温及除去固体颗粒后。净风机进入吸附器。吸附后气体排空。两个并联操作的吸附器，当其中一个吸附饱和时候将废气通入另一个吸附器进行吸附。饱和的吸附器则通入水蒸气进行再生。脱附气体进入冷凝器冷凝，冷凝液流入分流器，经一段时间分离出溶剂和水。